- расфокусированный пучок
- defocused beam
Русско-английский словарь по электронике. 2009.
Русско-английский словарь по электронике. 2009.
Сканирующий гелиевый ионный микроскоп — Сканирующий ионный гелиевый микроскоп (СИГМ) сканирующий (растровый) микроскоп, по принципу работы аналогичный сканирующему электронному микроскопу, но использующий вместо электронов пучок ионов гелия. Содержание 1 Источник ионов 2 Оптика … Википедия